| 电子显微镜 |
| WOJP10068200 2010-10-15 发明申请 |
| 2011-4-21 |
| 本发明公开了一种电子显微镜具有一个五元组-栅极微电子源(10)具有一个发射器基板(11)在其一个圆锥形突起(11a)被形成，提取电极(13)，它是形成经由一绝缘膜(12)和其具有一个孔(13a)，四个电极(15，17，19，21)，其被层压在所述提取电极(13)和其该突起具有通过其孔的所述尖端(11a)被暴露，和一个之间的绝缘膜形成的多个所述电极; 一电压源(30)，其施加电压到所述电极形成在所述的五元组-栅极微电子源(10)，和一个样品(41); 一阶段(40)用于移动所述样品(41); 和一个算术处理单元(80)，其中所述样品产生的图像(41)所述的基础上，在一最小，基于任一信号从所述样品发射的二次电子(41)或一基于电流信号通过所述样品(41)，所述样品和所述的位置(41)，其已经移动通过所述级(40)。所述的电子显微镜减少了所述电子束的光斑直径，以检查子显微对象。 |
微信公众号