用于一个扫描探针安装传感器的封装,扫描探针显微镜和安装或拆卸一扫描探针传感器的方法封装。
 
EP09075467  2009-10-16  发明申请

2011-4-20
 
  一个用于一个扫描探针安装传感器的封装(27)包括一支撑结构(1,5)定义一个平面内的所述安装和至少一个活动扣接头元件(9)设计用于与一个交互各自的对方(43)中的一种扫描探针传感器的封装(27)。所述卡扣接合元件(9),它是可移动到一个第一中的位置上施加一力安装扫描探针传感器的封装(27),从而向力所述扫描探头传感器的封装(27)在一正常方向所述平面向所述支撑结构的(1,5)中和到第二位置,它允许一个扫描探针传感器的封装(27)被安装或拆卸从所述支撑结构(1,5)沿正常方向所述平面的。一个扫描探针传感器的封装(27)包括一个传感器元件(29)和一个基座(31)以其所述传感器元件(29)被固定。所述底座包括至少一个卡扣接头部分(43),其被设计成与一卡扣接头进行交互元件(9)所安装的并具有一尺寸,其被选择,使得它可以通过所述至少一个卡接元件(9)沿正常方向的所述平面当该卡扣接头内定义所述安装元件(9)是在其第二位置,但可以不通过所述至少一个卡扣接合元件(9)沿所述正常方向,当该卡扣接合元件(9)是在其第一位置。此外,所述底座(31)具有这样的尺寸,其所述卡扣接合元件(9)可以施加一力朝所述平面内定义所述安装在所述的正常方向安装在所述卡扣接头部分(43)具有通过所述卡扣接头元件朝所述的平面。
 
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