| 加速的浮雕表面的测量方法用于所述扫描探针显微镜 |
| RU2009136929 2009-10-7 发明申请 |
| 2011-4-20 |
| 1。浮雕和表面特性的测量所述的方法，用于所述扫描探针显微镜，其中所述扫描之前被所述方向之前完成，所述预定轨迹上平行于所述模型的表面，给定它们记录与所述直或反向通道，和用于所述形成控制垂直所述值信号的位移，利用所述山体内的驱动信号; 该上取的先前的扫描线，其特征是由所述的事实仍然是用于所述的山体内该不一致的所述误差信号的值，作为远作为所述的校准系数相乘。!2。[P]上的方法。1，其特征是由所述的事实所述校准系数的值是在整个扫描的开始确定所述的该曲线的斜率在所述的角度不一致的所述的依赖性所述误差信号超过驱动信号。!3。[P]上的方法。1，其特征是由所述的事实所述校准系数的值是确定在所述直的和反向通道之前，每个线的扫描。!4。[P]上的方法。1，其特征是由所述的事实是用于所述的massifs所述驱动信号的值和所述所述的massifs所述的误差信号的值不一致，采取在一个以上的先前行的扫描。!5。[P]上的方法。1，其特征是由所述的事实是用于所述傅里叶-滤波器，其保证了所述的过滤所述山体内所述的误差信号的所述的值不一致。!6。[P]上的方法。5，其特征是由所述的事实所述傅里叶-滤波器的参数被确定在所述的响应信号基于所述传感器的垂直位移到所述短脉冲的驱动信号。!7。[P]上的方法。5，其特征是由所述的事实所述傅里叶-滤波器的参数被确定在所述响应的所述不一致的误差信号下所述短脉冲的驱动信号。!8。[P]上的方法。5，其特征是由所述的事实所述傅里叶变换的-参数 |
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