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[kantilever]用于所述扫描探头显微镜

RU2009137631 2009-10-13 发明申请

2011-4-20

[kantilever]用于所述扫描探头显微镜，其由除了所述底座，下其被固定在两-层状臂与所述位于超出该端远离从所述底座针，其被其特征在于，通过该事实 : 所述臂是由从复合的材料，而且一个的所述层是由从活性热或磁敏材料与[epf]，它是敏感到所述外部作用，和另一个是弹性。