| 一种具有定原子力模糊控制器之轻敲式原子力显微镜 |
| TW098134637 2009-10-13 发明申请 |
| 2011-4-16 |
| 一种具有定原子力模糊控制器之轻敲式原子力显微镜之系统架构包括一中央控制与处理单元、一弦波讯号产生器、一动态讯号放大器、一探针驱动器、一探针、一雷射二极体、一四象限光侦测器、一电流至电压转换器、一第一级放大器、一带通滤波器、一方均根値转换器、一动态讯号振幅补偿器、一数位至类比转换器、一讯号减法器、一模糊控制器、一高电压运算放大器、与一压电陶瓷管等。系统之主要工作原理为采用模糊控制器自动的调整轻敲式原子力显微镜之定原子力回馈控制系统, 其优点在於以模糊控制为基础之智慧型回馈控制器取代传统轻敲式原子力显微镜以人工手动调适回馈控制机制, 将可有效的提升轻敲式原子力显微镜使用之便利性, 使新的轻敲式原子力显微镜使用者快速且便利的熟悉仪器之操作, 如此可有效的降低新使用者之训练时间, 其次对於不同制程之探针, 此一发明亦可不需重新设计控制器即可适用, 再则具备此一发明之轻敲式原子力显微镜, 其定原子力回馈控制系统运作快速且稳态误差小, 因此可以有效的提升待测样品检测之速度与精度。 |
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