| 模型化临界尺寸扫描电子显微镜抽取的方法 |
| TW099111435 2010-4-13 发明申请 |
| 2011-4-16 |
| 本发明之一实施例有关在光微影术处理模型校准期间模型化临界尺寸(CD)扫描电子显微镜(CD-SEM)抽取的方法。在操作期间, 该方法接收使用CD-SEM抽取处理所获得的CD値, 其中该CD-SEM抽取处理藉由沿着多重电子束扫描来测量特徵的多重CD値, 以决定用於该特徵之测量的CD値。然後, 该方法决定模拟的CD値, 其中一模拟的CD値系至少根据均匀配置在目标特徵周围之一组CD抽取切割线而决定。在随後的光微影术处理模型校准之期间, 该方法至少根据该等测量的CD値及该等模拟的CD値二者配合一参数, 以模型化该光微影术处理之平面形状。 |
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