| 薄膜样品位置的装置，用于识别在电子显微镜 |
| JP2009229189 2009-10-1 发明申请 |
| 2011-4-14 |
| 要解决的问题 : 提供一种装置，用于识别一薄-膜样品的电子显微镜中的位置，允许多轴向级移动，以使容易地物镜薄的膜样品片观察视场内。溶液 : 该装置包括一个用于发射电子束的电子束源21，一种照射透镜系统22用于调节所述电子束电流的量，用于保持样品23样品块24，一种多轴向级28，用于操作所述样品块24，一控制单元31用于控制所述所述的多轴向的移动级28; 一图像聚焦透镜系统25用于放大和图像形成一个电子传输通过所述样品的23，一种对准所述电子束的偏转器，用于校正一个轨道，一控制驱动器，用于控制所述透镜的透镜系统和所述对准偏转器，一个计算机30用于控制所述控制单元31，一个装置26，用于获取一个放大倍率的图像聚焦使用一种CCD摄像机的图像作为数字信息，一个装置33用于存储所述数字信息到计算机30; 和一由该计算机装置32用于计算该数字信息。版权 : (C)2011，inpit |
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