| 扫描探针显微镜 |
| WOJP10055168 2010-3-25 发明申请 |
| 2011-4-7 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜观察其能够提高在所述的灵敏度一种表面形状的图像和一个表面电位的图像。具体地公开了一种扫描探针显微镜(1)，其被提供有一悬臂(4)具有一个探针(5)。面对一个样品(6)和所述样品产生所述表面形状的图像(6)和所述的静电力图像及其与所述的同步频率调制的所述探头(5)之间施加电压和所述样品(6)由扫描所述探针(5)在所述样品(6)，同时该样品之间保持一恒定距离(6)和所述探头(5)，所述扫描探针显微镜是具有一个悬臂激励单元(2)用于激发所述悬臂(4)在第n阶谐振的频率(n是整数2或更多)，和一个调制电压应用单元(3)用于将调制电压与第M次谐振频率(M是一个整数N以外的)之间的所述探头(5)和所述样品(6)。 |
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