| 传感器用于扫描探测显微镜，三维测量方法和用于制造这种传感器的方法 |
| BG11048009 2009-9-29 发明申请 |
| 2011-3-31 |
| 本发明涉及用于扫描探测显微镜术(SPM)传感器，其提供高的精度和测量的分辨率，用于三维测量的方法与这种传感器和用于其生产的方法，它，，通过测量振幅的变化，频率，所述相位的差值或隧道电流，用于确定找到应用的形貌，几何尺寸或一些其它各种工程领域中的对象的特性。该传感器包括一本体，微支架和探测部分，它具有一个共同的平面surfacewithin至少一个元件构造的形成中起作用小孔和/或槽，在其中一种多相探测元件位于碳纳米管(CNT)的形式，硼或氮化硼纳米管，一nanothread，纳米晶，等，包括具有复杂等形式，例如柱体中有球体。三维测量的方法提供的可能性，以具有弹性的在三个方向传感器，与通常的扫描探针显微镜技术，测量在给定点，确定samplein三个方向的特点，无需旋转传感器和/或研究的试样。本发明涉及还用于获取方法以可重复的和精确的方式所描述的传感器。 |
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