扫描探针显微镜及表面检查方法。
 
JP2009213900  2009-9-16  发明申请

2011-3-31
 
  要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜和一种表面检查方法用于形成一标志符号一个样品表面上不复杂的结构的一种装置。溶液 : 在所述扫描探针显微镜100,至少一个所述探针31的尖端33以外的部分在所述被涂覆的样品60的附近与一标记材料具有一种熔点低于所述探针的31。所述标记材料32被加热,从所述探针剥离,并附着到所述样品表面60。一标示符号形成装置40被提供以所述样品上形成所述标记符号62表面。所述扫描探针显微镜是使用以扫描和放置所述探头尖端33的31在所述样品表面60的附近,以热后所述标记材料32的异常区域61被检测,以剥离其从所述探针,以将它在所述异常的附近区域,以形成所述标志符号62,和以实现表面检查。版权 : (C)2011,inpit
 
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