| 用于获取装置和方法共焦杆(扫描传输电子显微镜)图像 |
| JP2009215458 2009-9-17 发明申请 |
| 2011-3-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一种装置和方法用于获取一个共焦杆图像具有一个简单的结构在一个装置，用于获取一个共焦图像。溶液 : 该装置用于获取所述共焦杆图像包括 : 一个检测单元6‘用于发射电子束以一种检测件10和排出从所述检验部件的检测信号; 一存储器22用于存储所述检测到的信号通过所述检测单元; 和一计算\/控制装置21用于控制所述检测单元和所述存储器中读取所述图像存储和进行一指定的计算过程。所述计算\/控制装置21提取一个衍射从所述存储器22中所存储的图像对应的图像，以其代替; 衍射图像的中心位置被选择用于每个像素和一个中央的位置是整流; 一个图像组被制备，其具有一衍射衍射在其中央的位置信息的图像每个像素，用于其中所述中央的位置是进行整流，被调整; 和一个共焦杆图像是由再现获得的一个杆从所述衍射图像的图像通过选择一个中心位置和另外一种只用于每个像素的中央部分所形成图像的设定。版权 : (C)2011，inpit |
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