显微镜装置
 
JP2009206348  2009-9-7  发明申请

2011-3-24
 
  要解决的问题 : 提供一种具有较少的显微镜装置能够获得良好的图像的像差,即使当所述的光瞳共轭表面的位置是在所观察的情况下一相位波动对象通过中继一个光瞳一个对象的透镜和所述光瞳共轭表面上设置一个光瞳调制元件。溶液 : 所述的显微镜装置包括 : 基于所述物镜透镜10用于发射平行光通量在光从一个样品8; 一个成像透镜20,用于基于所述样品8所述的图像形成在所述平行光通量从所述物镜透镜10; 和一个中继光学系统40用于中继所述的图像。该中继光学系统40包括一第一中继透镜组41和第二中继透镜组42; 和所述光瞳共轭表面29,其是共轭到所述光瞳11所述物镜的透镜10是设置第一中继透镜组41和第二之间的中继透镜组42。当一个角度形成的一个主光入射在该成像透镜20和所述的光学轴是表示为[!θ!],一种复合焦距长度被表示为F,和一种图像形成在该位置共轭的一距离以所述所述物镜透镜光瞳的位置,从所述的光学轴被表示为Y,所述的显微镜装置满足F×tan的一个条件表达式!θ!]>Y>f×[!θ!]。版权 : (C)2011,inpit
 
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