| 真空紫外射线的检测方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2009208473 2009-9-9 发明申请 |
| 2011-3-24 |
| 要解决的问题 : 提供一种简单，方便，和小型化集成高-性能电子显微镜在其功能作为一种扫描电子显微镜和功能的真空紫外检测的光发射被制成兼容。溶液 : 该扫描电子显微镜包括 : 除了所述扫描电子显微镜具有一个电子束源的一个场发射方法或一灯丝的方法; 一种低真空样品室，以照射电子，同时保持一种真空紫外线光-发光材料在低真空气氛; 一聚光的光传输部分具有一个光聚光的聚光反射镜包括一种真空紫外射线发射从所述光-发光材料; 和一个由一个分光镜的光谱仪，例如一个衍射光栅中，以便检测所述的真空紫外射线和一个检测器例如一CCD和一光电倍增管。所述聚光的光传输部分发送包括所述的真空紫外射线的光通过所述的光聚光反射镜直接冷凝以该光谱仪在一种气氛如氮气体。该扫描电子显微镜也具有该功能，以检测一个电子束激发真空紫外射线。版权 : (C)2011，inpit |
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