| Z―扫描器，用于一种原子力显微镜 |
| KR1020090081563 2009-8-31 发明申请 |
| 2011-3-15 |
| 目的 : 一Z-扫描器，用于一种原子力显微镜是提供以增加所述扫描速度，并最小化所述扫描通过该工作半径之间的干扰最小化误差和一物镜透镜。<\/P> 构成 : 一本体(100)具有一空间用于接收一对象的。所述Z-轴导轨(200)安装在所述接收空间包括双复杂的线性弹簧孔(210)。所述的双复杂的线性弹簧中的孔具有一切割槽的形状，以便安装所述外部分待从所述本体的内部分离。一种压电元件(300)中所述体被安装在所述的外部该Z-轴垂直的方向，和分配重量与所述水平方向上。该重量方向变换部(400)重量和所述的方向传送所述重量变化到所述Z-轴导向。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
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