| 扫描电子显微镜所述相同的装置和检查样品的使用方法 |
| JP2009196748 2009-8-27 发明申请 |
| 2011-3-10 |
| 要解决的问题 : 提供一种高灵敏度，一种高吞吐量的电子束类型的检查装置及检查方法用于减轻人工的主电子束扫描移造成的缺陷。溶液 : 一半导体检测装置与多个主电子束被提供的与一调节装置，用于设定一个位置，其中所述多个主电子束被发射到一个用于检查样本。一种的所述多个主电子束的照射位置在所述样品被设置在根据与一个重复图案间隔的所述样品用于所述的检查，并重复图案的图像所获得的比较对象是在所述相同的时间。在所述多个图像的获得在所述相同的时间，所述主电子束扫描的移位是所述在所述的重复图案的场合相同，以进行比较。用于在于，人工通过该扫描所述电子束的偏移引起的缺陷被消除了在所述的图像，由此一种高灵敏度，所述高吞吐量的电子束类型的检查装置，和所述的检查方法可以被提供。版权 : (C)2011，inpit |
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