| 振子的频率检测装置，原子力显微镜，和频率振动器的检测方法和程序 |
| JP2009193606 2009-8-24 发明申请 |
| 2011-3-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一个频率检测装置的一个振动器能够被检测到的在一宽频率检测范围的同时高度保持一个所述振子的谐振频率的检测灵敏度，一种原子力显微镜，及所述振子的一个频率检测方法和程序。溶液 : 一个外差电路21构成一个信号表示一谐振频率的波动频率Δf接收从一个位移检测器14和一个参考信号的一个本地振荡器214。一个PLL电路24产生一电气信号从由信号表示所述波动频率Δf在一个电压到被发送到一个条件确定装置40。所述条件确定装置40降低了所述一个本地振荡器214所述的参考信号的频率下，以一规定值的部分E。G。666Hz，当所述的电气信号表示所述的电压从所述PLL电路24所述波动频率Δf在一个电压是与所述上限的电压设定值相匹配和增加了该频率的所述所述本地振荡器214上的参考信号以一规定值的部分E。G。666Hz当所述的电气信号表示所述的所述电压波动的频率Δf所述谐振频率从该PLL电路24在一个电压是与所述的电压相匹配的下限设定值。版权 : (C)2011，inpit |
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