| 扫描电子显微镜，和控制扫描电子显微镜的方法 |
| JP2009190775 2009-8-20 发明申请 |
| 2011-3-3 |
| 要解决的问题 : 以简化操作的一个指定装置，由操作者移动方向观察时的内部一个检查对象的样品和一搜索是通过手动操作进行通过移动一显示图像。解决方案 : 一种扫描电子显微镜中，该样品16放置在样品台18是通过电子扫描光束15，一种二次信号17从由所述电子束扫描的区域15产生的被检测，和一个这是基于扫描的图像显示。基于移动的方向指令从所述指定装置12上，当所述电子束扫描的区域15是该样品16上相对移动，使得所述电子束的垂直扫描方向15在所述扫描区相匹配的一个方向上相对移动方向平行于一个所述的样品16所述扫描区域所述显示图像的对应到该移动方向通过所述指定装置指定的12的移动方向，一个运算控制装置10进行控制的旋转所扫描的区域。版权 : (C)2011，inpit |
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