| 扫描探针显微镜及其测量方法 |
| US12828590 2010-7-1 发明申请 |
| 2011-3-3 |
| 根据传统技术的扫描探针显微镜难以操作用于在宽范围内扫描和定位的探针和用于在窄范围内高精度扫描的探针。 根据本发明的扫描探针显微镜使用探针驱动致动器进行粗调和细调。 对于宽范围的扫描和定位，粗调致动器切换到快速响应。 对于窄范围内的扫描，粗调致动器被切换到慢响应。 相反，降低了位置噪声，并且微调节致动器主要用于窄范围内的扫描。 该探头不仅能在较宽的范围内进行扫描定位，而且能在较窄的范围内进行高精度的扫描。 |
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