| 动态模式原子力显微镜装置 |
| US12990070 2009-4-8 发明申请 |
| 2011-3-3 |
| 本发明提供一种动态模式AFM装置，其构成能够自动获得探针-样品距离的自动控制系统，能够高速识别样品表面的原子，该动态模式AFM装置包括 : 扫描器3，用于对悬臂2和样品1进行三维相对扫描； 用于在具有悬臂2的弯曲振动的模式中产生谐振频率的AC信号的装置8； 用于以谐振频率激励悬臂2的弯曲振动的装置9； 用于产生低于弯曲振动频率的第二频率的AC信号的装置10； 用于以第二频率调制悬臂2的探针2a-样品1距离的装置11； 用于检测谐振频率的波动的装置5； 用于检测悬臂的振动的装置4； 以及检测装置(6)，用于检测包含在由用于检测谐振频率波动的装置(5)检测到的信号中并与探针(2a)-样品(1)距离的调制信号同步的波动分量，其中，从波动分量的强度和极性获得谐振频率相对于探针(2a)-样品(1)距离的倾斜度。 |
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