| 控制电子装置的显微镜，电子显微镜用于控制电子显微镜系统和方法 |
| JP2005278066 2005-9-26 发明授权 |
| 2011-3-2 |
| 要解决的问题 : 以获得精确的结果的观察和分析中的样品，即使在不具有专家知识和能力，电子显微镜中设置有X射线分析仪。方法 : 数据共享对象7，用于加快SEM的通信控制数据8，71，和反馈测量结果的EDX侧控制的SEM侧条件实时，加入到计算机用于控制SEM硬件1和3构成的EDX硬件2的X射线探测器和能量分配式X射线分析仪，并且SEM对控制数据8，71直接传送到应用程序6不介导的EDX SEM应用5。' 版权 : (C)2007，隆起部' |
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