| 制造一个三-维图像使用一种扫描电子显微镜 |
| WORU10000188 2010-4-20 发明申请 |
| 2011-2-24 |
| 为了产生一个三-维图像的一个对象，一种扫描电子显微镜被使用到寄存器该强度重新辐射当所述的深度的分布所述的电子的聚焦显微镜是大于所述所述物体的高度; 和当两个或多个重新辐射强度分布所述的电子的聚焦显微镜的所述深度是小于所述所述物体的高度，所述强度分布不同的从一个的另一通过所述焦平面的，其是位于在从所述的平面不同的给定距离所述对象的零高度，从而提供用于所述的可比性的所有该登记项中的强度分布的所述图案中的大小和方向。此外，所有的所述重新使用电子束辐射强度分布被登记，其具有一均匀的形状和在该焦平面均匀的横截面尺寸，以及作为一个均匀的电子束强度在该横截面。在所述对象，以便确定所述的习惯，其被形成一个三-维图像和所述线属于以这种图像被确定，每个交点的线穿过该点或所述强度分布之间的最大会聚当产生的所述的聚焦深度大于所述所述物体的高度和一个所述强度分布的当产生的所述的聚焦深度是小于所述物体的高度。此外，每个所述线是位于所述的焦平面中的所述对应当重新产生的辐射强度分布所述的电子的聚焦显微镜的所述深度是小于所述物体的高度。 |
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