| 控制装置，原子力显微镜，控制方法，和程序 |
| JP2009180137 2009-7-31 发明申请 |
| 2011-2-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个控制装置，一种原子力显微镜，一种控制方法和一种控制程序允许一个振动器和一样品以正确地以一距离的方法，其中一种原子力作用，而不完成所述即使当有波动的波动接近的动作在由于距离可变频率的所述振子，经过时间或大气温度，同时避免所述短范围的情况下的力大于一预定值之间作用一个探头和所述样品。溶液 : 一个粗调整机构控制部153指示一个粗调整机构部20以启动所述的移动样品2在一个方向接近到一探针12，和此后，每当预定条件被满足，复位在获得的值设定点值通过添加一个预定的偏移频率到所述可变频率Δf所示的由一个电气信号从一个频率检测装置10在所述预定条件被满足时的时间。当所述可变频率Δf达到一个值超过该设定点值，所述粗调机构控制部控制所述粗调机构部20以停止所述样品2所述的运动。版权 : (C)2011，inpit |
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