| 扫描电子显微镜 |
| JP2009177193 2009-7-30 发明申请 |
| 2011-2-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，包括所述的机构，其使和有效地排出的一入口气体。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个电子源，一个初级发射的电子束会聚镜头，用于会聚从所述的电子源，一个物镜，用于所述主电子束聚焦在观察样品，和一个检测器用于检测一个二次电子产生从所述样品通过所述主电子束的照射。该扫描电子显微镜包括一气体入口部注入气体到所述样品，和一个排出管，用于排气注入气体。所述排气管包括一气体-校直机构用于整流所述气体，其与所述样品发生碰撞时在所述排气管。版权 : (C)2011，inpit |
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