| 低真空扫描电子显微镜 |
| JP2009178574 2009-7-31 发明申请 |
| 2011-2-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种低真空中的扫描电子显微镜包括一个排空系统，其中一个孔可被制成较大的直径比所述常规一个使一个吞吐量，直到观察从样品交换可以被改进的，和一个需要一种探针的电流量可被电子束照射时获得的。溶液 : 本发明的电子显微镜包括一个电子枪中，一与一电子照射样品室，用于将一个样品从所述电子枪发射的光束，一个电子枪室包括所述的电子枪，和所述的排空系统，用于排空所述样品室，多个所述电子枪之间提供中间室的室和所述样品室，阀被提供在多个所述中间室的之间的开口部分，和所述的排空系统被设置用于抽空使所述中间腔室靠近所述样品中所述压力室侧比到所述阀和所述样品室中的所述压力是高于所述中间腔室靠近所述的电子源侧比与所述阀和所述的电子枪室。版权 : (C)2011，inpit |
微信公众号