| 包括加速度计的原子力显微镜 |
| US12852095 2010-8-6 发明申请 |
| 2011-2-17 |
| 一种用于原子力显微镜(AFM)中的微悬臂梁包括细长悬臂梁体，该细长悬臂梁体具有探头尖端，该探头尖端优选地设置在其自由端附近，并且优选地沿着悬臂梁的轴线。 本发明的一些实施例将嵌入或蚀刻的桨叶集成到微悬臂主体中，所述嵌入或蚀刻的桨叶通过将桨叶连接到悬臂主体的铰链绕平行于悬臂的轴线的轴线刚性地旋转。 在一个实施例中，该桨叶谐振器的谐振频率高于微悬臂梁的基本谐振，使得桨叶旋转与铰链位置处的垂直微悬臂梁加速度成比例。 可以使用照射桨叶的辐射来检测桨叶的运动； 反射光束集中在四象限光电二极管上，这在原子力显微镜中很常见。 通过监控光电二极管中的垂直通道，以通常的方式检测焊盘的垂直运动，同时从光电二极管中的横向通道监控焊盘的旋转。 通过监测来自桨叶旋转的垂直尖端加速度信号，可以解析在振荡周期期间尖端样本力的历史。 本发明还公开了一种将测得的桨叶旋转转换为垂直探针尖端加速度和瞬时尖端样品力的校准方法。 |
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