| 使用涡流电流高的速度扫描探针显微镜测量 |
| KR1020090069677 2009-7-29 发明申请 |
| 2011-2-11 |
| 目的 : 一种高速扫描探针显微镜使用中的涡流电流的测量是提供以确保高分辨率高的速度扫描和提高所测量的可靠性。<\/P> 构成 : 一个高-使用涡流测量速度扫描探针显微镜包括一个磁场发生器(200)和一个悬臂检测器(110)。所述磁场发生器被固定到所述底部的一样品保持部(120)。所述悬臂检测器，涂覆有金属，包括一悬臂支撑和一悬臂，它是形成与一个线圈位于上方的一个样品。所述高速扫描探针显微镜测量所产生的磁场中的变化由根据所创建的涡流电流所述悬臂的运动检测器，同时保持均匀的样品之间的距离和所述悬臂检测器探头，和从而高速扫描所述样品。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
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