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透射电子显微镜及其试样图像观察方法
US12850961 2010-8-5 发明申请
2011-2-10
在聚光光学系统中设置第一电子双棱镜,用两束不同角度的电子束同时照射试样的观察区域。 将同时透射试样的两束电子束用设置在成像光学系统中的第二电子双棱镜进行空间分离和聚焦,并获得不同照射角度的两幅电子显微镜图像。 通过检测单元获得这两幅图片图像。 基于这两个图片图像,产生具有不同种类的样本信息的立体图像或两个图像,并将其显示在显示装置上。
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