| 干涉显微镜和测量装置 |
| WOJP09066318 2009-9-11 发明申请 |
| 2011-2-10 |
| 本发明提供了一种干涉显微镜，其中样品，诸如一晶片，是与一激光束照射，和所述内部所述样品表面的观察和检查是通过使用一个干涉仪，和一个测量装置。一参考光之间的路径，用于引导光以一个分束器和一个参考反射镜被设置，以及一种测量光之间的路径，用于引导光以所述分束器和所述样品是还设置，因此，一个光的光程差是提供该参考光之间的路径和所测量的光路径。此外，干涉条纹被形成在一检测装置通过稍微倾斜该参考反射镜。与这种简单的结构，该表面形状的所述待测样品(对象)，如所述晶片，被测量仅通过稍微倾斜该参考反射镜，灰尘和准确的坐标位置，磁极片及该等可以被指定。 |
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