| 扫描电子显微镜和样品观测方法。 |
| WOJP10004843 2010-7-30 发明申请 |
| 2011-2-10 |
| 一种扫描电子显微镜，当形成一个通过扫描一待扫描区域的图像的一个二维区域一个样品(8)与一个电子束(4)，改变扫描线密度根据所述样品以扫描所述区域，包括一GUI(401)，其包括一样品信息输入装置，用于输入所述样品上的信息(8)和一显示装置(405)用于显示推荐的扫描条件基于所述输入，和扫描该区域在所述扫描通过选择所推荐的线密度基于所述样品的扫描条件。因此，一扫描装置和一扫描方法适合用于通过使用扫描电子显微镜进行观察，可以被提供，其可提高一轮廓一个两维图案的对比度和通过降低所述的影响抑制的遮光由主-带电粒子光束照射引起的充电，以增加一个二次电子检测率。 |
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