悬臂激励装置和扫描探针显微镜
 
WOJP10004973  2010-8-6  发明申请

2011-2-10
 
  本发明公开了一种悬臂激励装置,其可以防止该谐振特性通过一简单的配置的复杂化。具体地公开的是一个悬臂激励装置(1)具有一个悬臂(7),一悬臂支架(3),用于保持该悬臂(7),和一压电振动器(5)附着到所述悬臂支架(3)。所述悬臂支架(3)包括一保持器主体部分(11)(第一部分),其具有一个声阻抗不同于使所述压电振动器(5)和发送的所述的振动所述压电振动器通过弹性变形,和一个附着片(13)(第二部分),其具有一从其声阻抗不同的第一部分和形成的,在所述第一部分和第二部分,一个材料块的边界所述的声波的传播。第一部分和第二之间的部分被设置所述压电振动器(5)和所述悬臂(7)。
 
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