| 融合显微镜用于快速测量 |
| KR1020090068567 2009-7-27 发明申请 |
| 2011-2-8 |
| 目的 : 一种融合显微镜是提供以减少测量时间获得三个尺寸的纳米级的图像和一个两个尺寸的图像。<\/P> 构成 : 一个XY扫描器(100)一个平面上移动。一种共焦显微镜模块(200)获得所述整个图像一种的样品。一种原子力显微镜模块(300)获得该精度的图像的所述样品。一控制器(400)移动所述通过原子显微镜模块以一个感兴趣的特定区域计算所述感兴趣的区域的XY坐标从所述两个尺寸的图像。一种显示部(500)接收一个信号后输出一个图像从所述原子力显微镜模块。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
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