| 扫描电子显微镜控制装置、控制方法及程序 |
| US12826181 2010-6-29 发明申请 |
| 2011-2-3 |
| 一种SEM控制装置，包括 : 图像获取单元，通过SEM在垂直于第一方向的第二方向上的多个位置处获取规定对象的多个图像，每个图像由在第一方向上排列的多个像素形成； 变化范围计算单元，其在所述多个像素的各个位置处获得所述多个图像中的灰度值的最大值和最小值，并且针对所述多个像素计算所述最大值的变化范围和所述最小值的变化范围； 以及亮度/对比度调节单元，调节SEM的亮度和对比度，以使最大值的变化范围和最小值的变化范围之间的差最小化。 |
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