| 扫描电子显微镜 |
| WOJP10004636 2010-7-20 发明申请 |
| 2011-2-3 |
| 本发明公开了一种桌面型电子显微镜其中一个控制系统包含一电子显微镜主体,一个排气系统,一种功率源,和一冷却风扇被设置在一底部板。所述的台式型电子显微镜的目的是获得一种高-分辨率图像。所述电子显微镜中,所述的电子显微镜主体,所述排气系统,用于排出所述的内侧的所述的电子显微镜主体,和所述控制系统用于所述的电子显微镜主体被设置在所述底板和一由一盖所包围的空间内。所述的电子显微镜,其特征在于,所述控制系统被设置在所述底板,该底部板具有一个开口,和所述的电子显微镜主体是一种地板上,其中所述底板上设置被设置,通过一个阻尼器通过所述开口。通过一冷却风扇产生的振动或一装置内的该等被防止从被传送到所述电子显微镜主体,使得所述的电子显微镜可以获得一个高-分辨率观察图像。 |