扫描隧道显微镜组件,反应器,和系统
 
WOUS10039506  2010-6-22  发明申请

2011-2-3
 
  一个扫描隧道显微镜(STM)反应器的一个实施例包括一压力容器,一个STM组件,和三个弹簧耦合对象。所述压力容器包括一个可密封的端口,一内部,和一个外部。STM系统的一个实施例包括一真空室,STM反应器,和三个弹簧。所述三个弹簧将所述STM反应器到所述真空室并被可操作以暂停所述扫描隧道显微镜反应器内的所述真空室的内部操作期间所述STM的反应器。一STM组件的一个实施例包括一粗位移装置,一个压电精细位移扫描管连接到该粗位移装置,和一个接收机。所述的压电精细位移扫描管被耦合到所述粗位移装置。所述接收机被耦合到所述的压电扫描管和可操作以接收一尖端夹持器,和所述尖端夹持器是可操作以接收一尖端。
 
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