| 微分干涉相衬层析显微镜 |
| CN200920085467.5 2009-5-6 实用新型 |
| 2011-2-2 |
| 本实用新型涉及一种微分干涉相衬层析显微镜。两组合光源经光纤耦合器、准直透镜、起偏器以平行光束入射至光束分离器后分为两路，样品光束经Nomarski棱镜、筒长无限显微物镜入射到载物台上的被测样品，参考光束经相同系统入射到参考反射镜表面，反射镜通过支架与二维反射镜工作台固定在一起，二维反射镜工作台通过齿条、齿轮等与步进电机连接，螺母与载物工作台连接，反射镜与PZT连接。参考光束和样品光束经光束分离器经辅助物镜、检偏器、目镜接CCD探测器。本实用新型采用两LED光源，提高了系统层析图像信号的信噪比，实现对透明或半透明物体的微分相衬观察，并能同时提取物体内部微米级的结构层析图像。 |
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