| 扫描探针显微镜，组合与所述的光学显微镜 |
| RU2009128001 2009-7-22 发明申请 |
| 2011-1-27 |
| 1。所述扫描探针显微镜，组合与所述的光学显微镜，其包括所述平台，其上建立所述模型与所述照明装置和所述的光学显微镜，其特征是由所述的事实所述的光学显微镜包含所述基本元件与所述盖，其上建立所述光-电子装置与所述物镜和所述矩阵[pzs]，cmbined用于为了所述三个坐标的机械手，两个坐标操作器，用于为了所述照明装置的cmbined，和还模块的所述该平台上的基本元件的固定[szm]。!2。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述的基本元件是执行在所述形成气密护套。!3。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述照明装置所形成的光-发光二极管中被执行。!4。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述的光学显微镜以附加所述平台上安装的站点。!5。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述物镜的光-电子装置是位于在角度不相等，以90a°到所述的表面模型。!6。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述物镜的光轴与所述平面[pzs构成]角度不等于90A°。!7。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述的基本元件是提供用于所述的装置的所述的缘故气密密封，与所述平台建立与所述交互的可能性。!8。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述的基本元件是提供用于所述的装置的所述的缘故该平台上的精细调整。!9。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述盖包括，至少，一个气密的密封光学窗。!10。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述三个坐标机械手包括光学显微镜。 |
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