| 清洁装置，用于传输电子显微镜 |
| WOUS10038937 2010-6-17 发明申请 |
| 2011-1-27 |
| 一种装置，用于清洁所述样品和内部透射电子显微镜的样品室，和类似的电子-或带电粒子光束仪器由一等离子体的清洗装置安装在一中空杆，其通过所述空气代替所述级的锁定该仪器通过被所述相同的形状和尺寸作为该级支撑杆。所述等离子体清洗装置是一小空心阴极，其是通过RF功率激励。空气或其它含氧的混合物被接纳到所述等离子体通过所述中空杆在压力低于1乇。所述等离子体产生氧自由基的从所述含氧气体。所述的氧自由基氧化所述烃污染和将它们以容易泵送气体。该装置可以被附着到所述的电子显微镜无论何时需要清洗，和然后被容易地去除，以返回该仪器以其分析功能。 |
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