| 扫描电子显微镜 |
| JP2009160143 2009-7-6 发明申请 |
| 2011-1-20 |
| 要解决的问题 : 提供一种带电粒子束的临界尺寸扫描电子显微镜测量装置(CD-SEM)或该等，一种光掩模上的精确图案尺寸测量用于通过一减速压印电压应用系统。溶液 : 一个用于安装附件所述光掩模用于纳米压印在一保持器被使用。一放大的偏差被确定，和一个上一图案尺寸的测量结果该光掩模用于纳米压印被通过使用该偏差校正。该放大率偏差是通过使用一种样品确定用于校准所述夹持器的尺寸和样品用于校准所述光掩模用于纳米压印的尺寸。进一步，所述放大的偏差可以确定从所述光掩模用于纳米压印的带电电压。版权 : (C)2011，inpit |
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