| 扫描电子显微镜 |
| JP2009155745 2009-6-30 发明申请 |
| 2011-1-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜下实现高精度的聚焦调整，即使观察条件与一个大的聚焦深度。溶液 : 多个不同孔径的孔的直径是一个孔板，其消除了不必要的区域上形成一初级的电子束，和所述孔的孔被切换，以控制所述初级电子的孔径角光束穿过该孔孔而不改变一聚光透镜的透镜条件和一物镜透镜。一条件被设置到确定一个要高的分辨率和一要小的聚焦深度。在这种方式，聚焦调整精度被提高。版权 : (C)2011，inpit |
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