| 扫描电子显微镜装置和使用相同的图案尺寸测量方法 |
| WOJP10004338 2010-7-1 发明申请 |
| 2011-1-20 |
| 一全景图像中的合成技术是一种技术，其评价点(ep)覆盖一宽范围的区域一种半导体图案被分成多个分段的评价点(sepsseps)和一个组的所述的图像通过SEM被链接在一起，通过图像捕获处理。在该全景图像合成技术，即使如果有一小数量的图案提供一个线索到所述链接，所述seps通过其整个联获得的图像是可被确定，或即使如果这种seps不能确定，所述seps可以被确定满足用户的要求项目作为许多作为可能的。因此，聚焦在所述的事实存在一种情况下，在其整个连接图像获得的是，即使如果所述图案提供该线索到所述部分之间的重叠区域中不包含链接seps，这种被提取的情况下，通过优化SEP装置，从而增加该情况下，其中所述seps通过其整个连接图像获得的是可以被确定。或者，即使如果这种seps不能被确定，由显示多个SEP的装置中的候补和信息其用户的要求项目是可视化和通过允许seps到被选择，可以容易地确定seps满足所述用户的要求项目作为许多作为可能的。 |
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