| 三-维方向漂移控制装置和显微镜装置 |
| WOJP10061807 2010-7-13 发明申请 |
| 2011-1-20 |
| 本发明提供了一个三-维方向漂移控制装置和显微镜装置，其快速和可靠地之间的正确的相对未对准物镜透镜和一个样品。在本发明提供的三个三维定向漂移控制装置，其可以被施加到一显微镜，所述表面的一玻璃盖，其保持所述试样(12)上一阶段(21)，是由近-红外发射的光从光照射源(30)。所述近红外的光的一部分被阻塞通过一个刀口(34)。该玻璃盖的照明通过所述近红外的光给出上升至近红外镜面反射光和散射光，其然后入射在一个半透半反镜(33)通过任一物镜透镜(22)或一偏移透镜组(35)。所述镜面反射的光通过所述半反射镜(33)是通过阻塞所述的刀边缘(34)。所述图像的基础上所散射的光通过所述半反射镜(33)成一个二维光电转换器(39)，一夹具处理单元(41)检测所述的投影的水平未对准所述试样(12)到所述物镜(22)。在根据该检测结果，所述夹具处理单元控制一个驱动单元(42)，以移动所述级(21)。 |
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