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使用扫描电镜测量固体颗粒膜片的扫描方法

CN201010281915.6 2010-9-10 发明申请

2011-1-19

本发明属于计量技术领域，涉及对扫描电镜测量固体颗粒膜片扫描方法的改进。扫描的步骤如下：固定膜片和调节扫描电镜参数；确定扫描电镜的扫描区域和扫描视场；扫描第一扫描区域；扫描第二扫描区域；扫描第三扫描区域。本发明避免了同一区域的重复扫描，统计计数结果的重复性和准确性高。