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4
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环境扫描电子显微镜的显微镜和探测器
JP2004538207 2003-9-18 发明授权
2011-1-19
一种粒子-光学装置,包括用于接收样品的样品架,粒子源实施以产生主光束第一的带电粒子沿光轴的照射样品的目的,第一体现检测器检测第二发出的带电粒子从样品作为结果的照射,检测空间是至少由样品架和第一探测器,和浸没透镜以产生用于该目的的磁场聚焦初级中梁样品架附近。第一体现检测器产生的电场在检测空间,和在检测空间实施为包括气体。
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