| 光学扫描显微镜 |
| JP2009145028 2009-6-18 发明申请 |
| 2011-1-6 |
| 要解决的问题 : 提供一种光学扫描显微镜，其是小的变化在量中的光入射在一个光通量轴位移检测部，即使当所述显微镜是用于在所述的偏振方向激光束被改变。溶液 : 所述光学扫描显微镜包括 : 一照明光学系统包括一扫描装置具有一激光器作为光源; 所述激光光源之间设置一位移检测装置和扫描装置和用于检测的位移所述的光相对于一参考光学路径，其结果从所述的波长改变所述光源; 一种第一所述的光的分光装置，用于导引部到所述位移检测装置和引导其其余部分到所述扫描装置。该位移检测装置包括 : 一第二光分离装置通过其通过第一光分离的部分分光装置被引导到一第一位置检测装置; 和一个光学元件，用于引导所述其余部分的至少一部分所述分离的光以一个第二位置检测装置。第一和第二表示分离装置满足一个条件通过～°<[!θ!]<27。3A°，其中一个垂直于所述入射面之间形成一个角度每个分离装置和所述的光学轴所述的照明光学系统是[!θ!](°)。版权 : (C)2011，inpit |
微信公众号