| 扫描电子显微镜类型的可视检查装置和其图像信号处理方法。 |
| JP2009147173 2009-6-22 发明申请 |
| 2011-1-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一个SEM类型的可视检查装置能够灵活地设定所述扫描的方法和其图像信号处理方法。溶液 : 所述SEM型的可视检查装置利用一个扫描中设定101的一个概念，其中多个扫描被扫描的处理作为一个单元。在该扫描集合101，多个扫描被定义的，例如，通过所述扫描线的数量“4”所述扫描线之间的距离和所述的“2”。当所述扫描的信息组101被定义，一扫描控制部分所述SEM类型的可视检查装置进行一个扫描控制，以用于所述数量的所述扫描线进行扫描的扫描线“4”用于每个所述扫描线“2”之间的距离从所述扫描线的一参考位置地址，基于所述其扫描的信息组101。进一步，当所述扫描由该扫描集合101定义为被完成，所述扫描控制部分继续所述扫描控制由所述相同的扫描设定101而递增一个由一个所述参考位置地址。版权 : (C)2011，inpit |
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