| 一种适用于扫描探针显微镜的波段激发方法 |
| US12792477 2010-6-2 发明申请 |
| 2011-1-6 |
| 本发明描述了用于扫描探针显微镜的方法和装置。 一种方法,包括 : 生成在至少第一预定频带中具有有限的和预定的幅度和相位谱的频带激励(BE)信号; 使用频带激励信号激励探针; 通过测量探针在至少一个第二预定频带中的响应来获得数据; 以及在预定范围内提取探针响应的至少一个相关动态参数,包括分析所获得的数据。 可以在成像之前合成BE信号(静态波段激励),或者在每个像素或光谱步骤处调整BE信号以适应样本特性的变化(自适应波段激励)。 一种设备,包括 : 频带激励信号发生器; 探头,耦合到所述频带激励信号发生器; 与所述探针耦合的检测器; 以及耦合到检测器的相关动态参数提取器组件,相关动态参数提取器包括执行选自积分变换和离散变换的数学变换的处理器。 |