| 探头制造的方法，用于扫描探针显微镜中使用 |
| KR1020090048261 2009-6-1 发明申请 |
| 2011-1-4 |
| 目的 : 一种用于制造方法中使用的探针一个扫描探针显微镜是提供以制造一探针，其使用具有纵横比在所述的结晶结构(111)-硅晶片。<\/P> 构成 : 一个部分，其限定了一个悬臂和一个探针尖端(550)上的平面上形成一(111)-硅晶片(500)。一种保护膜(540)。被形成在所述硅晶片的所述上和下平面。一种掩模层限定一个探针体和所述悬臂被形成在所述上平面的所述硅晶片。所述虚设图案和所述的探针体该悬臂通过干燥形成和蚀刻该硅晶片和所述保护层与所述掩模层。悬臂是通过蚀刻所述悬臂的所述虚设图案形成。所述保护层被去除。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
微信公众号