| 一保持器装置，用于试样在扫描elctron显微镜 |
| KR1020090057894 2009-6-26 发明申请 |
| 2011-1-3 |
| 目的 : 一种装置用于保持所述一个扫描电子显微镜的样品是提供以提高精度和所述所述流量控制的可靠性一相位扫描期间的过程。<\/P> 构成 : 一基部(10)被安装在所述一种样品的上侧保持器级中的一种扫描电子显微镜。一种中间移动部分(20)被组合与所述基部以可移动在所述纵向方向的所述基部，该中间移动部分包括一第一的固定球。一种移动样品固定部分(30)被组合与所述基部以可移动在所述所述基部的纵向方向上。所述样品固定移动部分包括一个第二固定球。<\/P> 版权kipo2011<\/P> |
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