| 用于测量厚度变化装置，系统使用所述的装置，使用形态的显微镜所述的装置，用于测量厚度变化的方法，以及用于获取形态的图像的方法使用所述的方法 |
| KR1020100059064 2010-6-22 发明申请 |
| 2010-12-31 |
| 目的 : 一种厚度变化的测量装置和系统使用和使用所述的显微镜装置，一厚度变化测量方法和使用该方法是提供一表面的图像获取方法，以实现精确和准确的测量微小厚度的变化与一种简单和低的成本的方法。结构 : 厚度变化的测量装置包括一光源(10); 一弯曲表面反射器(20)，一感测单元(30)，和一个透镜单元，该光源照射一光光束到一个测量对象(42)在所述的角度45度。所述曲面反射镜反射该光光束反射离开所述测量对象。所述感测单元感测所述光反射的光束关闭所述弯曲表面反射镜。透镜单元被设置成通过所述之前从所述光源发出的光束的光到达所述测量对象。 |
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