| 方法利用扫描探针显微镜针尖及其产品或其制造 |
| US11933251 2007-10-31 发明申请 |
| 2010-12-30 |
| 本发明提供了一种称为“蘸笔”纳米光刻(DPN)的光刻方法。 DPN使用扫描探针显微镜(SPM)尖端(例如，原子力显微镜(AFM)尖端)作为“笔”，固态衬底(例如，金)作为“纸”，并且使用与固态衬底具有化学亲和力的分子作为“墨水”。在DPN中，分子从SPM尖端到固态衬底的毛细管传输被用于直接写入由亚微米尺寸的相对小的分子集合组成的图案，使得DPN可用于制造各种微米级和纳米级器件。 本发明还提供了通过DPN图案化的衬底，包括亚微米组合阵列，以及用于执行DPN的套件、装置和软件。 本发明还提供了一种在空气中进行AFM成像的方法。 所述方法包括用疏水化合物涂覆AFM针尖，所述疏水化合物被选择成使得与使用未涂覆的AFM针尖执行的AFM成像相比，使用涂覆的AFM针尖执行的AFM成像得到改善。 最后，本发明提供涂覆有疏水化合物的AFM针尖。 |
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